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远程等离子体源
远程等离子体源 8L
2024-08-13
财盈远程等离子体源（RPS）独特的腔体设计和超长使用寿命，是真空腔体清洁的理想之选。 主要用于清洁CVD、PECVD腔体及半导体厂芯片制造和液晶面板的生产制造。
远程等离子体源
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